真空炉、气氛炉的真空系统分类

2016-12-06  来自: 河南三博特耐仪器仪表有限公司 浏览次数:906

真空炉气氛炉真空系统一般有三种类型:低真空系统、中真空系统和高真空系统。

 一、低真空系统。一般是由一个泵组成的系统,该种系统结构简单、造价低。对这种要求范 围的真空系统,一般只需配置机械真空泵,就能保证间断工作的炉子可靠地工作。当真空度要求稍高,抽气速率要求不太大的情况下,可选用旋片式真空泵;当抽气速率需要较大,而真空度要求不太高时,可选用滑阀式真空泵。

  二、中真空系统。它有三种形式:1由罗茨泵为主泵串联机械泵而构成的系统;2由油增压 泵为主泵串联机械泵而构成的系统;3由罗茨泵串联小罗茨泵,再串联机械泵而构成的系统。

  这种压强范围的真空系统,通常由增压泵和机械真空泵组成。此时机械真空泵便是一种预真 空泵,预真空泵的选择应保证增压泵能力的发挥。增压泵有机械增压泵(罗茨泵)和油增压 泵两种。机械增压泵启动快,能在短时间内达到极限真空,也有很大的抽气速率,这样弥补了油 扩散泵和油增压泵在10~10-2Pa时抽气速率小的不足。但是,机械增压泵的极限真空度略低于油 增压泵组成的真空系统。

  三、高真空系统。它有三种形式:1由扩散泵为主泵串联罗茨泵,再串联机械泵而构成的系 统;2由扩散泵为主泵串联机械泵而构成的真空系统;3由扩散泵为主泵串联油增压泵,再串联 机械泵而构成的真空系统。高真空系统与低真空系统相比,其特点是压强较低、排气量小、抽气 速率小。高真空油蒸气扩散泵不能直接对大气工作。

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