真空炉、气氛炉的真空系统一般有三种类型：低真空系统、中真空系统和高真空系统。
一、低真空系统。一般是由一个泵组成的系统，该种系统结构简单、造价低。对这种要求范 围的真空系统，一般只需配置机械真空泵，就能保证间断工作的炉子可靠地工作。当真空度要求稍高，抽气速率要求不太大的情况下，可选用旋片式真空泵；当抽气速率需要较大，而真空度要求不太高时，可选用滑阀式真空泵。
二、中真空系统。它有三种形式：1由罗茨泵为主泵串联机械泵而构成的系统；2由油增压 泵为主泵串联机械泵而构成的系统；3由罗茨泵串联小罗茨泵，再串联机械泵而构成的系统。
这种压强范围的真空系统，通常由增压泵和机械真空泵组成。此时机械真空泵便是一种预真 空泵，预真空泵的选择应保证增压泵能力的发挥。增压泵有机械增压泵（罗茨泵）和油增压 泵两种。机械增压泵启动快，能在短时间内达到极限真空，也有很大的抽气速率，这样弥补了油 扩散泵和油增压泵在10~10-2Pa时抽气速率小的不足。但是，机械增压泵的极限真空度略低于油 增压泵组成的真空系统。
三、高真空系统。它有三种形式：1由扩散泵为主泵串联罗茨泵，再串联机械泵而构成的系 统；2由扩散泵为主泵串联机械泵而构成的真空系统；3由扩散泵为主泵串联油增压泵，再串联 机械泵而构成的真空系统。高真空系统与低真空系统相比，其特点是压强较低、排气量小、抽气 速率小。高真空油蒸气扩散泵不能直接对大气工作。
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